环绕型
基于UFO的真空互联系
UFO腔体为中心，四周互联各个超高真空腔室，形成CLUSTER。通过中心机械臂的转动以及线性伸缩，实现样品从UFO腔体到各个互联腔体的传送。机械臂可伸展1200mm甚至更高，提供了足够的腔体中心距，以获得足够的操作空间。通过多级UFO互联，也能进一步扩展。
直线型
直线导轨真空互联技术
通过真空V型导轨，实现真空内小火车在导轨上的平滑稳定的运动，导轨上小火车可以装载各类样品，通过内部输送实现真空互联。直线导轨互联技术容易扩展，操作空间大，是目前比较流行的真空互联技术之一。
样品分配腔和磁力杆结合互联系统
利用磁力杆来实现样品在各个腔室之间的传送，简单经济。外延科技为各类样品托的传送，包括靶材的传送都进行了优化，降低了位置对准精度的要求，让操作更简便，上手更容易。
环绕型
基于UFO的真空互联系
UFO腔体为中心，四周互联各个超高真空腔室，形成CLUSTER。通过中心机械臂的转动以及线性伸缩，实现样品从UFO腔体到各个互联腔体的传送。机械臂可伸展1200mm甚至更高，提供了足够的腔体中心距，以获得足够的操作空间。通过多级UFO互联，也能进一步扩展。
直线型
直线导轨真空互联技术
通过真空V型导轨，实现真空内小火车在导轨上的平滑稳定的运动，导轨上小火车可以装载各类样品，通过内部输送实现真空互联。直线导轨互联技术容易扩展，操作空间大，是目前比较流行的真空互联技术之一。
样品分配腔和磁力杆结合互联系统
利用磁力杆来实现样品在各个腔室之间的传送，简单经济。外延科技为各类样品托的传送，包括靶材的传送都进行了优化，降低了位置对准精度的要求，让操作更简便，上手更容易。
环绕型
基于UFO的真空互联系
UFO腔体为中心，四周互联各个超高真空腔室，形成CLUSTER。通过中心机械臂的转动以及线性伸缩，实现样品从UFO腔体到各个互联腔体的传送。机械臂可伸展1200mm甚至更高，提供了足够的腔体中心距，以获得足够的操作空间。通过多级UFO互联，也能进一步扩展。
直线型
直线导轨真空互联技术
通过真空V型导轨，实现真空内小火车在导轨上的平滑稳定的运动，导轨上小火车可以装载各类样品，通过内部输送实现真空互联。直线导轨互联技术容易扩展，操作空间大，是目前比较流行的真空互联技术之一。
样品分配腔和磁力杆结合互联系统
利用磁力杆来实现样品在各个腔室之间的传送，简单经济。外延科技为各类样品托的传送，包括靶材的传送都进行了优化，降低了位置对准精度的要求，让操作更简便，上手更容易。
环绕型
基于UFO的真空互联系
UFO腔体为中心，四周互联各个超高真空腔室，形成CLUSTER。通过中心机械臂的转动以及线性伸缩，实现样品从UFO腔体到各个互联腔体的传送。机械臂可伸展1200mm甚至更高，提供了足够的腔体中心距，以获得足够的操作空间。通过多级UFO互联，也能进一步扩展。
直线型
直线导轨真空互联技术
通过真空V型导轨，实现真空内小火车在导轨上的平滑稳定的运动，导轨上小火车可以装载各类样品，通过内部输送实现真空互联。直线导轨互联技术容易扩展，操作空间大，是目前比较流行的真空互联技术之一。
样品分配腔和磁力杆结合互联系统
利用磁力杆来实现样品在各个腔室之间的传送，简单经济。外延科技为各类样品托的传送，包括靶材的传送都进行了优化，降低了位置对准精度的要求，让操作更简便，上手更容易。
