产品特点
靶设计：靶位精确重复定位控制提高薄膜制备质量，独特的靶托设计解决真空中轴承易损坏难题。
加热设计：红外激光加热解决电阻加热器加热丝易断难题。
腔体设计：精心设计的腔体结构及布局，无RHEED亦可制备高质量的外延薄膜。
规格参数
产品特点
靶设计：靶位精确重复定位控制提高薄膜制备质量，独特的靶托设计解决真空中轴承易损坏难题。
加热设计：红外激光加热解决电阻加热器加热丝易断难题。
腔体设计：精心设计的腔体结构及布局，无RHEED亦可制备高质量的外延薄膜。
规格参数
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靶设计：靶位精确重复定位控制提高薄膜制备质量，独特的靶托设计解决真空中轴承易损坏难题。
加热设计：红外激光加热解决电阻加热器加热丝易断难题。
腔体设计：精心设计的腔体结构及布局，无RHEED亦可制备高质量的外延薄膜。
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靶设计：靶位精确重复定位控制提高薄膜制备质量，独特的靶托设计解决真空中轴承易损坏难题。
加热设计：红外激光加热解决电阻加热器加热丝易断难题。
腔体设计：精心设计的腔体结构及布局，无RHEED亦可制备高质量的外延薄膜。
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