产品特点
真空主腔：超真空腔体，包含原位激光能量监测系统、真空获取和测量系统、样品台和激光加热系统、六靶位扫描靶台系统、气路、系统支撑台和激光入口光路、档板控制系统
预进样腔：圆柱形真空腔体，包含真空泵、观察窗口、主腔互联口、磁力传样杆等
外接装置：原位激光能量监测系统、Torr-RHEED、激光器、控制和辅助系统、可升级高通量
规格参数
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真空主腔：超真空腔体，包含原位激光能量监测系统、真空获取和测量系统、样品台和激光加热系统、六靶位扫描靶台系统、气路、系统支撑台和激光入口光路、档板控制系统
预进样腔：圆柱形真空腔体，包含真空泵、观察窗口、主腔互联口、磁力传样杆等
外接装置：原位激光能量监测系统、Torr-RHEED、激光器、控制和辅助系统、可升级高通量
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真空主腔：超真空腔体，包含原位激光能量监测系统、真空获取和测量系统、样品台和激光加热系统、六靶位扫描靶台系统、气路、系统支撑台和激光入口光路、档板控制系统
预进样腔：圆柱形真空腔体，包含真空泵、观察窗口、主腔互联口、磁力传样杆等
外接装置：原位激光能量监测系统、Torr-RHEED、激光器、控制和辅助系统、可升级高通量
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真空主腔：超真空腔体，包含原位激光能量监测系统、真空获取和测量系统、样品台和激光加热系统、六靶位扫描靶台系统、气路、系统支撑台和激光入口光路、档板控制系统
预进样腔：圆柱形真空腔体，包含真空泵、观察窗口、主腔互联口、磁力传样杆等
外接装置：原位激光能量监测系统、Torr-RHEED、激光器、控制和辅助系统、可升级高通量
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