更快的新材料工艺探索、更广的材料范围、更高的结晶性、更大的掺杂可调性、以及更低的工艺温度可以让大晶圆PLD不仅取代现有技术，还可以做原来技术无法企及的材料领域。
小靶材以及CLUSTER，可以在降低成本的同时，保证高质量的外延薄膜的制备，方便用户开展各类半导体薄膜、新能源、机械涂层、光学和航空航天等领域的研究和材料制备。外延科技还可以为您定制超长带状薄膜的沉积方案，如高温超导线缆的制造。
规格参数
更快的新材料工艺探索、更广的材料范围、更高的结晶性、更大的掺杂可调性、以及更低的工艺温度可以让大晶圆PLD不仅取代现有技术，还可以做原来技术无法企及的材料领域。
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